摘要: 研制了一种基于单惯性质量块的一体化结构三维加速度传感器。介绍了传感器的工作原理,对传感器结构模型进行了大量有限元仿真分析,给出了弹性体的应变分布、固有频率及振型等。有限元分析计算和实验结果表明,所研制的传感器在三个正交方向上都有较高的灵敏度,各加速度分量互干扰小。